{"product_id":"siasun-vacuum-robot-phoenix","title":"SIASUN Vakum Robotu Phoenix","description":"\u003cp\u003eSIASUN Vacuum Robot Phoenix, yarı iletken ve temiz oda üretimi için bir vakum transfer robotudur; wafer'ları ve diğer hassas alt katmanları, kontrollü ortamı bozmadan yükleme kilitleri (load lock), transfer odaları ile biriktirme, aşındırma ve metroloji istasyonları gibi proses modülleri arasında taşımak üzere tasarlanmıştır. Hareketi, düşük partikül oluşumunun, kontrollü gaz salınımının ve titreşim kontrolünün yüksek değerli alt katmanları korumak için kritik olduğu vakum koşullarında kararlı ve akıcı transfer için ayarlanmıştır.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003ePhoenix, dişli ve kayışlara bağımlılığı azaltan doğrudan tahrik mimarisi kullanır; bu, daha akıcı ve daha tekrarlanabilir hareket için boşluğu ve mekanik aşınma noktalarını azaltır. Hareket kontrolörü ve I\/O arayüzleriyle entegrasyona hazır bir platform olarak teslim edilir; tekrarlanabilirliğin, kapasitenin ve kontaminasyon kontrolünün önemli olduğu yarı iletken, temiz oda ve endüstriyel vakumlu taşıma uygulamalarına uygundur. Ayrıntılı teknik özellikler, fiyat ve stok durumu için bizimle iletişime geçin.\u003c\/p\u003e","brand":"SIASUN","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":67451604500770,"sku":"SIASUN-Vacuum-Robot-PHOENIX-S25-Series","price":0.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/1022\/0693\/1234\/files\/siasun-logo_1_37_8996a892-bed7-4379-b504-5fcc9deed3db.jpg?v=1791207436","url":"https:\/\/robotixmarket.eu\/tr\/products\/siasun-vacuum-robot-phoenix","provider":"Robotix Market Europe","version":"1.0","type":"link"}