- Vakuový přenos waferů
- Vakuové přechodové komory
- Procesní moduly
- Opakovatelnost
- Propustnost
- Kontrola kontaminace
Popis
Vakuový robot SIASUN Phoenix B Series přenáší wafery mezi vstupními komorami (load lock), přenosovými komorami a procesními moduly (depozice, leptání, metrologie) bez narušení řízeného prostředí.
Zlepšuje opakovatelnost, propustnost a kontrolu kontaminace v polovodičové výrobě a čistých prostorech.
Řada Phoenix B nachází uplatnění v polovodičovém průmyslu, ve vzdělávání a v průmyslových aplikacích vakuové manipulace.
Pro cenu a dostupnost nás kontaktujte.
Funkce
Technické parametry
| Model | Vakuový robot řady PHOENIX B |
|---|---|
| Typ robota | Vakuový přenos |
| Určené použití | Manipulace s polovodiči |
| Značka | SIASUN |
Odvětví
Často kladené dotazy
Kontaktujte nás – sdělíme vám aktuální cenu a dodací lhůtu a připravíme nabídku na míru pro vakuový robot SIASUN řady Phoenix B.
Vakuový robot SIASUN Phoenix B Series přenáší wafery přes vstupní komory (load lock) a procesní moduly. Automatizace s kontrolou kontaminace pro polovodičovou výrobu.
Vakuový robot SIASUN Phoenix B Series je vhodný pro nasazení v průmyslu.
Ano. Robotix Market dodává do celého světa s kompletní logistickou podporou, celním odbavením a poprodejní asistencí.
Ano. Robotix Market dodává firmám po celém světě včetně fakturace a poprodejní podpory. Kontaktujte nás a připravíme vám cenovou nabídku.
Naposledy zobrazené
Zatím jste si neprohlédli žádné produkty.
