- Manipulador de vacío
- Herramientas de clúster
- Deposición/grabado
- Esclusas de carga
- Estaciones de metrología
- Condiciones de vacío
Descripción
El manipulador de vacío SIASUN serie PHOENIX PLUS opera dentro de equipos de proceso al vacío como las herramientas cluster para deposición, grabado o procesos al vacío relacionados.
Transfiere obleas o sustratos entre esclusas de carga, módulos de proceso y estaciones de metrología manteniendo condiciones de vacío controladas.
La serie Phoenix Plus atiende aplicaciones de manipulación al vacío en los sectores semiconductor e industrial.
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Características
Especificaciones
| Modelo | Vacuum Manipulator PHOENIX PLUS Series |
|---|---|
| Tipo de robot | Manipulador de vacío |
| Uso previsto | Integración en herramienta de clúster |
| Marca | SIASUN |
Sectores
Preguntas frecuentes
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El SIASUN PHOENIX PLUS Vacuum Manipulator opera en equipos clúster para deposición y grabado. Transferencia en vacío controlada entre esclusas de carga y módulos de proceso.
Manipulador de vacío SIASUN serie Phoenix Plus es ideal para aplicaciones en los sectores Industrial.
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