- Vakuumoverførsel af wafere
- Load-locks
- Procesmoduler
- Gentagelsesnøjagtighed
- Kapacitet
- Kontamineringskontrol
Beskrivelse
SIASUN vakuumrobot Phoenix B-serien overfører wafers mellem slusekamre, overførselskamre og procesmoduler (deposition, ætsning, metrologi) uden at bryde de kontrollerede miljøer.
Forbedrer gentagelsesnøjagtighed, kapacitet og kontaminationskontrol i halvleder- og renrumsproduktion.
Phoenix B-serien bruges til vakuumhåndtering inden for halvledere, undervisning og industri.
Kontakt os for pris og tilgængelighed.
Funktioner
Specifikationer
| Model | Vakuumrobot PHOENIX B-serien |
|---|---|
| Robottype | Vakuumoverførsel |
| Tilsigtet brug | Håndtering af halvledere |
| Mærke | SIASUN |
Brancher
Ofte stillede spørgsmål
Kontakt os for aktuelle priser, tilgængelighed og et skræddersyet tilbud på SIASUN vakuumrobot Phoenix B-serien.
SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series overfører wafere gennem load locks og procesmoduler. Kontaminationskontrolleret automatisering til halvlederproduktion.
SIASUN vakuumrobot i Phoenix B-serien er velegnet til industrielle anvendelser.
Ja. Robotix Market leverer i hele verden med fuld logistiksupport, toldhåndtering og hjælp efter købet.
Ja. Robotix Market leverer til virksomheder i hele verden med fakturering og eftersalgssupport. Kontakt os for et tilbud.
Senest sete
Du har ikke set nogen produkter endnu.
